旋片真空機(jī)組是以泵為主泵,以旋片泵為前級(jí)泵串聯(lián)而成的。旋片真空機(jī)組選用的旋片泵作為前級(jí)泵,因此它克服了旋片泵使用時(shí)在一定壓力下抽氣速率低的缺點(diǎn),而且同時(shí)保留了羅茨泵能迅速工作,有比較大抽氣速率等優(yōu)點(diǎn)。因?yàn)樵摍C(jī)組的結(jié)構(gòu)緊湊、抽速大、占地面積小,所以可以代替多臺(tái)機(jī)械真空泵,因此旋片泵機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽、電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無(wú)爆炸性的、對(duì)金屬無(wú)腐蝕性的、與泵油不會(huì)起化學(xué)反應(yīng)的也不會(huì)含有顆粒塵埃的氣體。
而立式無(wú)油往復(fù)泵機(jī)組以ZJ泵為主泵,以WLW型方式無(wú)油泵為前級(jí)泵串聯(lián)而成,由于WLW型真空泵采用無(wú)油自潤(rùn)滑系統(tǒng),這樣可以獲得潔凈真空,這樣在加裝尾氣收集裝置后,可以收集在高真空系統(tǒng)中無(wú)法凝固、無(wú)法壓縮收集的氣體,而又同時(shí)避免了水環(huán)機(jī)組所產(chǎn)生的大量廢水的排放而導(dǎo)致污染環(huán)境的問(wèn)題。
水環(huán)真空機(jī)組以羅茨泵為主泵,以水環(huán)泵為前級(jí)泵串聯(lián)而成的。水環(huán)真空機(jī)組選用的水環(huán)泵成為前級(jí)泵比其它的真空泵更為有利,因?yàn)樗坏朔藛闻_(tái)水環(huán)泵使用時(shí)極限壓力差(機(jī)組的極限壓力比水環(huán)泵的極限壓力有很大的提高),在一定壓力下抽氣速率低的缺點(diǎn),而且與此同時(shí)又保留了羅茨泵能迅速工作,有比較大抽氣速率的優(yōu)點(diǎn)。它能夠適應(yīng)抽除大量的可凝性蒸汽,尤其是當(dāng)氣鎮(zhèn)油封機(jī)械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠,或使用的溶劑能使泵油惡化進(jìn)而影響性能,或者是真空系統(tǒng)不允許油污染時(shí)更為明顯。如果配有防爆電機(jī)及電器時(shí)并遵守相應(yīng)的安全規(guī)則下,還能夠抽除易燃易爆的氣體。
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